超高純過氧化氫
專業(yè)生產(chǎn)供應(yīng)商
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化工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《高純工業(yè)品 過氧化氯》HG/T 5736-2020
| 序號 | 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |||||
| HP型 | UP型 | ||||||
| HP-1級 | HP-2級 | UP-1級 | UP-2級 | UP-3級 | UP-4級 | ||
| 1 |
含量（H2O2%），W/% |
30-35 |
30-35 |
30-32 |
30-32 | 30-32 |
30-32 |
| 2 |
色度（Hazen），≤ |
- |
- |
10 |
10 | 10 |
10 |
| 3 |
游離酸（H2SO4），ppm ≤ |
30 |
30 |
30 |
30 | 10 |
10 |
| 4 |
總有機(jī)碳（TOC），ppm,≤ |
40 |
40 |
20 |
20 | 10 |
10 |
| 5 |
氯化物（Cl），ppm,≤ |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 6 |
硝酸鹽（SO3），ppm,≤ |
4 |
2 |
0.4 |
0.4 | 0.03 |
0.03 |
| 7 |
磷酸鹽（PO4），ppm,≤ |
2 |
1 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 8 |
硫酸鹽（SO4），ppm,≤ |
2 |
2 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 9 |
鋁（Al，ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 10 | 砷（As），ppb，≤ |
50 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 11 | 硼（B），ppb，≤ | 20 | 20 | 10 | 1 | 0.1 |
0.01 |
| 12 | 鋇（Ba），ppb，≤ | 100 | 50 | 10 | - | - | 0.01 |
| 13 | 鈣（Ca），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 14 | 鎘（Cd），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | - |
- |
| 15 | 鉻（Cr），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 16 | 銅（Cu），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 17 | 鐵（Fe），ppb，≤ |
100 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 18 | 鉀（K），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 19 | 鎂（Mg），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 20 | 錳（Mn），ppb，≤ |
50 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 21 | 鈉（Na），ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 22 | 鎳（Ni），ppb，≤ |
50 |
10 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 23 | 鉛（Pb），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 24 | 銻（Sb），ppb，≤ |
20 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 25 | 錫（Sn），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 26 | 鈦（Ti），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
0.1 |
0.01 |
|
| 27 | 礬（V），ppb，≤ |
- |
- |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 28 | 鋅（Zn），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 29 |
顆粒數(shù),（μm，pcs/mL） ≤ |
- |
- |
- |
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超高純電子級過氧化氫是一種十分重要的濕電子化學(xué)品，主要用作集成電路半導(dǎo)體和硅晶片的清洗劑、蝕刻劑、光刻膠去除劑，產(chǎn)品中的雜質(zhì)會對元器件性能產(chǎn)生致命影響，對集成電路成品率、電性能及可靠性有十分重要的影響， 因此半導(dǎo)體行業(yè)對超高純過氧化氫產(chǎn)品的純度要求非?？量?。在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，目前線寬7納米制程和晶圓12英寸以上制程需要過氧化氫的離子雜質(zhì)達(dá)到＜10ppt水平。
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200升英特格桶 |
IBC桶 |
20-30t槽罐車（內(nèi)襯PFA/n-PDFE） |
本品按氧化劑運(yùn)輸規(guī)則運(yùn)輸，防止劇烈振搖；
請勿直接用手接觸，操作應(yīng)配戴塑膠手套；
若不慎接觸或包裝發(fā)生泄漏，請用大量水沖洗。
